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核心产品

KrF光刻胶

产品应用
                                                                                                                                                                              

集成电路:
-28-180nm技术节点
-逻辑、存储、功率器件
-poly,gate,contact,via,metal等工艺层制作


产品特点
                                                                                                                                                                              

- 分辨率:0.15-0.25μm

- 膜厚:0.4-2μm

- 高深宽比,耐刻蚀,耐离子注入,高感光度



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